Diamond fil teknoloji koupe se ke yo rele tou konsolidasyon abrazif teknoloji koupe. Li se itilize nan elèktroplatan oswa metòd lyezon résine nan dyaman abrazif konsolide sou sifas la nan fil asye, fil dyaman dirèkteman aji sou sifas la nan baton Silisyòm oswa Silisyòm. Diamond fil koupe gen karakteristik sa yo nan vitès koupe vit, presizyon segondè koupe ak pèt materyèl ki ba.
Kounye a, li te yon sèl mache kristal pou dyaman fil koupe Silisyòm Silisyòm konplètman aksepte, men li te tou rankontre nan pwosesis la nan pwomosyon, nan mitan ki Velvet Blan se pwoblèm ki pi komen. Nan gade nan sa a, papye sa a konsantre sou ki jan yo anpeche dyaman fil koupe monokristalin Silisyòm Wafer velours pwoblèm blan.
Pwosesis netwayaj la nan fil dyaman fil koupe monokristalin silikon se yo retire wafer la Silisyòm koupe pa zouti nan machin wè fil soti nan plak la résine, retire teren an kawotchou, epi netwaye wafer la Silisyòm. Ekipman netwayaj la se sitou yon machin pre-netwayaj (machin degumming) ak yon machin netwayaj. Pwosesis netwayaj prensipal la nan machin nan pre-netwayaj se: manje-espre-espre-ultrasonik netwayaj-kalm-pwòp dlo rense-underfeeding. Pwosesis netwayaj prensipal la nan machin nan netwayaj se: manje-pi-dlo rense-pi-dlo rense-alkali lave-alkali lave-pure dlo rense-pure dlo rense-pre-deidratasyon (ralanti leve) -dying-manje.
Prensip la nan fè yon sèl-kristal velours fè
Wafer monokristalin Silisyòm se karakteristik nan korozyon anisotropik nan wafer monokristalin Silisyòm. Prensip reyaksyon an se ekwasyon reyaksyon chimik sa yo:
Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2 ↑
Nan sans, pwosesis la fòmasyon syèd se: solisyon NaOH pou diferan pousantaj korozyon nan diferan sifas kristal, (100) sifas korozyon vitès pase (111), se konsa (100) nan waf la monokristalin silikon apre anisotropik korozyon, evantyèlman ki te fòme sou sifas la pou (111) Kat-sided kòn, sètadi "piramid" estrikti (jan yo montre nan Figi 1). Apre yo fin estrikti a ki te fòme, lè limyè a se ensidan pant lan piramid nan yon ang sèten, limyè a pral reflete nan pant lan nan yon lòt ang, fòme yon segondè oswa plis absòpsyon, konsa diminye reflèktivite a sou sifas la nan wafer la Silisyòm. , se sa ki, efè a pèlen limyè (gade Figi 2). Pi bon gwosè a ak inifòmite nan estrikti a "piramid", plis evidan efè a pèlen, ak pi ba a sifas la emitrate nan wafer la Silisyòm.
Figi 1: Micromorphology nan monokristalin silikon wafer apre pwodiksyon alkali
Figi 2: Prensip la pèlen limyè nan estrikti a "piramid"
Analiz de yon sèl blanchiman kristal
Pa analysis mikwoskòp elèktron sou wafer la blan Silisyòm, li te jwenn ke mikrostruktur la piramid nan wafer la blan nan zòn nan te fondamantalman pa te fòme, ak sifas la te sanble yo gen yon kouch nan "sir" rezidi, pandan y ap estrikti a piramid nan syèd la. Nan zòn blan an nan menm wafer la Silisyòm te fòme pi byen (gade Figi 3). Si gen résidus sou sifas la nan wafer monokristalin silikon, sifas la pral gen zòn rezidyèl "piramid" gwosè estrikti ak jenerasyon inifòmite ak efè nan zòn nan nòmal se ensifizan, sa ki lakòz yon sifas rezidyèl velours reflectivity se pi wo pase zòn nan nòmal, la Zòn ki gen gwo reflectivity konpare ak zòn nòmal la nan vizyèl la reflete kòm blan. Kòm ou ka wè nan fòm nan distribisyon nan zòn nan blan, li se pa fòm regilye oswa regilye nan gwo zòn, men se sèlman nan zòn lokal yo. Li ta dwe ke polyan lokal yo sou sifas la nan wafer la Silisyòm pa te netwaye, oswa sitiyasyon an sifas nan wafer la Silisyòm ki te koze pa polisyon segondè.
Figi 3: Konparezon nan diferans microstructure rejyonal yo nan velours blan silikon gato
Sifas la nan fil la dyaman fil koupe Silisyòm se pi plis lis ak domaj la se pi piti (jan yo montre nan Figi 4). Konpare ak wafer nan Silisyòm mòtye, vitès reyaksyon an nan alkali a ak dyaman fil koupe silisyòm sifas la wafer se pi dousman pase sa yo ki an mòtye koupe monokristalin silisyòm wafer la, se konsa enfliyans nan résidus sifas sou efè a velours se pi evidan.
Figi 4: (a) Micrograph sifas nan koupe mòtye Silisyòm Wafer (b) Micrograph sifas nan dyaman fil koupe Silisyòm wafer
Prensipal sous rezidyèl nan dyaman fil-koupe silisyòm sifas wafer
(1) Awozaj: eleman prensipal yo nan dyaman fil koupe awozaj yo se surfactant, dispèrsan, defamagent ak dlo ak lòt konpozan. Likid la koupe ak pèfòmans ekselan gen bon sispansyon, dispèsyon ak kapasite netwayaj fasil. Surfactants anjeneral gen pi bon pwopriyete idrofil, ki se fasil netwaye nan pwosesis la netwayaj wafer Silisyòm. Vibran nan kontinyèl ak sikilasyon sa yo aditif nan dlo a pral pwodwi yon gwo kantite kim, sa ki lakòz diminye nan koule nan awozaj, ki afekte pèfòmans nan refwadisman, ak kim la grav e menm pwoblèm debòde kim, ki pral afekte seryezman itilize a. Se poutèt sa, se awozaj la anjeneral yo itilize ak ajan an defoaming. Yo nan lòd yo asire pèfòmans nan defoaming, silikone a tradisyonèl ak poli yo anjeneral pòv idrofil. Sòlvan an nan dlo se trè fasil adsorb epi yo rete sou sifas la nan wafer la Silisyòm nan netwayaj la ki vin apre, sa ki lakòz pwoblèm nan nan plas blan. Epi li pa byen konpatib ak eleman prensipal yo nan awozaj la, Se poutèt sa, li dwe te fè nan de konpozan, eleman prensipal yo ak defoaming ajan yo te ajoute nan dlo, nan pwosesis la nan itilize, dapre sitiyasyon an kim, pa kapab kantitativman kontwole a Sèvi ak ak dòz ajan antifoam, ka fasilman pèmèt pou yon surdozaj nan ajan anoaming, ki mennen ale nan yon ogmantasyon nan rezidi yo sifas wafer Silisyòm, li se tou plis konvenyan yo opere, sepandan, akòz pri a ki ba nan matyè premyè ak defoaming ajan kri Materyèl, Se poutèt sa, pi fò nan awozaj domestik la tout sèvi ak sistèm fòmil sa a; Yon lòt awozaj sèvi ak yon nouvo ajan defoaming, yo ka byen konpatib ak eleman prensipal yo, pa gen okenn ajoute, ka efektivman ak kantitativman kontwole kantite lajan li yo, ka efektivman anpeche itilize twòp, egzèsis yo tou se trè pratik fè, ak pwosesis la netwayaj apwopriye, li yo Rezidi yo ka kontwole nan nivo ki ba anpil, nan Japon ak yon kèk manifaktirè domestik adopte sistèm fòmil sa a, sepandan, akòz gwo pri materyèl anvan tout koreksyon li yo, avantaj pri li yo pa evidan.
(2) Lakòl ak vèsyon résine: Nan etap nan pita nan pwosesis la koupe fil dyaman, wafer la Silisyòm tou pre fen a fèk ap rantre te koupe nan davans, wafer la Silisyòm nan fen a priz se pa sa ankò koupe nan, Diamond la koupe byen bonè Fil te kòmanse koupe nan kouch nan kawotchou ak plak résine, depi lakòl la baton Silisyòm ak tablo a résine tou de se pwodwi résine epoksidik, pwen ralantisman li yo se fondamantalman ant 55 ak 95 ℃, si pwen an adousi nan kouch nan kawotchou oswa résine a Plak ki ba, li ka fasilman chofe pandan pwosesis la koupe ak lakòz li vin mou ak fonn, tache ak fil la asye ak sifas la wafer Silisyòm, lakòz kapasite nan koupe nan liy lan dyaman diminye, oswa gato yo Silisyòm yo te resevwa ak Tache ak résine, yon fwa tache, li trè difisil yo lave koupe, tankou kontaminasyon sitou rive tou pre kwen nan kwen nan wafer la Silisyòm.
(3) Silisyòm poud: Nan pwosesis la nan koupe fil dyaman pral pwodwi yon anpil nan poud Silisyòm, ak koupe a, kontni poud awozaj mòtye yo pral pi plis ak pi wo, lè poud lan se gwo ase, yo pral konfòme yo ak sifas la Silisyòm, Ak dyaman koupe fil nan gwosè poud Silisyòm ak gwosè mennen nan pi fasil li nan adsorption sou sifas la Silisyòm, fè li difisil a netwaye. Se poutèt sa, asire aktyalizasyon a ak bon jan kalite nan awozaj la ak diminye kontni an poud nan awozaj la.
(4) Netwayaj ajan: itilizasyon aktyèl la nan dyaman fil manifaktirè koupe sitou lè l sèvi avèk koupe mòtye nan menm tan an, sitou sèvi ak mòtye koupe prewashing, pwosesis netwayaj ak ajan netwayaj, elatriye, yon sèl dyaman fil teknoloji koupe soti nan mekanis a koupe, fòme A Ranpli seri liy, awozaj ak mòtye koupe gen gwo diferans, se konsa pwosesis la netwayaj korespondan, netwayaj dòz ajan, fòmil, elatriye yo ta dwe pou dyaman fil koupe fè ajisteman ki koresponn lan. Netwayaj Ajan se yon aspè enpòtan, orijinal netwayaj ajan fòmil la surfactant, alkalinite se pa apwopriye pou netwaye dyaman fil koupe Silisyòm wafer, yo ta dwe pou sifas la nan fil dyaman fil silikon, konpozisyon an ak rezidi sifas nan ajan netwayaj vize, epi pran ak Pwosesis netwayaj la. Kòm mansyone pi wo a, konpozisyon an nan defoaming ajan pa nesesè nan koupe mòtye.
(5) Dlo: Diamond fil koupe, pre-lave ak netwayaj dlo debòde gen enpurte, li ka adsorbed nan sifas la nan wafer la Silisyòm.
Diminye pwoblèm lan nan fè cheve velours blan parèt sijesyon
(1) pou itilize awozaj la ak bon dispèsyon, epi li se awozaj la oblije sèvi ak ba-rezidi a defoaming ajan diminye rezidi a nan eleman yo awozaj sou sifas la nan wafer la Silisyòm;
(2) sèvi ak lakòl apwopriye ak plak résine diminye polisyon nan wafer Silisyòm;
(3) se awozaj la dilye ak dlo pi pou asire ke pa gen okenn enpurte fasil rezidyèl nan dlo a itilize;
(4) pou sifas la nan fil dyaman koupe Silisyòm wafer, sèvi ak aktivite ak efè netwayaj plis apwopriye ajan netwayaj;
(5) Sèvi ak liy dyaman sistèm awozaj rekiperasyon an pou diminye kontni an nan poud Silisyòm nan pwosesis la koupe, konsa tankou efektivman kontwole rezidi a nan poud Silisyòm sou sifas la wafer Silisyòm nan wafer la. An menm tan an, li kapab tou ogmante amelyorasyon nan tanperati dlo, koule ak tan nan lave a pre, asire ke se poud lan Silisyòm lave nan tan
(6) Yon fwa yo mete wafer Silisyòm lan sou tab la netwayaj, li dwe trete imedyatman, epi kenbe wafer la Silisyòm mouye pandan tout pwosesis la netwayaj.
(7) Wafer nan Silisyòm kenbe sifas la mouye nan pwosesis la nan degumming, epi yo pa ka seche natirèlman. (8) Nan pwosesis netwayaj la nan wafer la Silisyòm, tan an ekspoze nan lè a ka redwi osi lwen ke posib yo anpeche pwodiksyon an flè sou sifas la nan wafer la Silisyòm.
(9) Anplwaye netwayaj yo pa dwe kontakte dirèkteman sifas wafer Silisyòm pandan tout pwosesis netwayaj la, epi yo dwe mete gan kawotchou yo, konsa yo pa pwodwi enprime anprent.
(10) Nan referans [2], fen batri a sèvi ak oksijene idwojèn H2O2 + alkali NaOH pwosesis netwayaj dapre rapò a volim nan 1:26 (3%solisyon NaOH), ki ka efektivman diminye ensidan an nan pwoblèm nan. Prensip li se menm jan ak solisyon an netwayaj SC1 (souvan li te ye tankou likid 1) nan yon wafer semi -conducteurs Silisyòm. Mekanis prensipal li yo: se fim nan oksidasyon sou sifas la wafer Silisyòm ki te fòme pa oksidasyon an nan H2O2, ki se koroz pa NaOH, ak oksidasyon an ak korozyon rive repete. Se poutèt sa, patikil yo tache ak poud lan Silisyòm, résine, metal, elatriye) tou tonbe nan likid la netwayaj ak kouch nan korozyon; Akòz oksidasyon nan H2O2, se matyè òganik la sou sifas la wafer dekonpoze nan CO2, H2O ak retire li. Pwosesis sa a nan netwayaj te Silisyòm Wafer manifaktirè lè l sèvi avèk pwosesis sa a nan pwosesis netwayaj la nan dyaman fil koupe monokristalin Silisyòm wafer, Silisyòm wafer nan domestik la ak Taiwan ak lòt pakèt manifaktirè batri nan plent velours blan pwoblèm. Genyen tou manifaktirè batri yo te itilize menm jan velours pwosesis pre-netwaye, tou efektivman kontwole aparans nan velours blan. Li ka wè ke se pwosesis sa a netwayaj te ajoute nan pwosesis la netwayaj wafer Silisyòm yo retire rezidi a wafer Silisyòm konsa tankou efektivman rezoud pwoblèm nan nan cheve blan nan fen batri a.
konklizyon
Kounye a, te koupe fil dyaman vin teknoloji a pwosesis prensipal nan jaden an nan koupe sèl kristal, men nan pwosesis la nan pwomosyon pwoblèm nan nan fè velour Wafer gen kèk rezistans. Atravè analiz la konparezon nan zòn nan blan, li se sitou ki te koze pa rezidi a sou sifas la nan wafer la Silisyòm. Yo nan lòd yo pi byen anpeche pwoblèm lan nan wafer Silisyòm nan selil la, papye sa a analize sous yo posib nan polisyon sifas nan wafer Silisyòm, osi byen ke sijesyon yo amelyorasyon ak mezi nan pwodiksyon. Dapre nimewo a, rejyon ak fòm nan tach blan, sa ki lakòz yo ka analize ak amelyore. Li espesyalman rekòmande yo sèvi ak oksijene idwojèn + alkali pwosesis netwayaj. Eksperyans nan siksè te pwouve ke li ka efektivman anpeche pwoblèm lan nan dyaman fil koupe Silisyòm wafer fè velours blanchiman, pou referans a nan inisye yo endistri jeneral ak manifaktirè yo.
Post tan: Me-30-2024