Teknoloji koupe fil Diamond se konnen tou kòm teknoloji konsolidasyon koupe abrazif.Li se itilize nan galvanoplastie oswa résine metòd lyezon nan dyaman abrazif konsolide sou sifas la nan fil asye, fil dyaman dirèkteman aji sou sifas la nan baton Silisyòm oswa Silisyòm ingot yo pwodwi fanm k'ap pile, reyalize efè a nan koupe.Diamond fil koupe gen karakteristik sa yo nan vitès koupe vit, segondè presizyon koupe ak pèt materyèl ki ba.
Koulye a, mache a kristal sèl pou dyaman fil koupe Silisyòm wafer te konplètman aksepte, men li te tou rankontre nan pwosesis la nan pwomosyon, nan mitan ki velours blan se pwoblèm ki pi komen.Nan sans de sa a, papye sa a konsantre sou ki jan yo anpeche dyaman fil koupe monokristalin Silisyòm wafer velours pwoblèm blan.
Pwosesis netwayaj la nan fil dyaman koupe monokristalin Silisyòm wafer se retire wafer Silisyòm koupe pa zouti machin nan wè fil soti nan plak la résine, retire teren an kawotchou, epi netwaye wafer la Silisyòm.Ekipman netwayaj la se sitou yon machin pre-netwayaj (machin degumming) ak yon machin netwayaj.Pwosesis netwayaj prensipal la nan machin nan pre-netwayaj se: manje-espre-espre-ultrason netwayaj-degumming-pwòp dlo rense-underfeeding.Pwosesis netwayaj prensipal la nan machin netwayaj la se: manje-pi dlo rense-pur dlo rense-alkali lave-alkali lave-pi dlo rense-pi dlo rense-pre-dezidratasyon (leve dousman) -seche-manje.
Prensip la nan yon sèl-kristal velours fè
Wafer Silisyòm monokristalin se karakteristik korozyon anisotrop nan wafer Silisyòm monokristalin.Prensip reyaksyon an se ekwasyon reyaksyon chimik sa a:
Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑
Nan sans, pwosesis fòmasyon syèd la se: NaOH solisyon pou diferan pousantaj korozyon nan sifas kristal diferan, (100) vitès korozyon sifas pase (111), se konsa (100) nan wafer nan Silisyòm monokristalin apre korozyon anisotropik, evantyèlman fòme sou sifas la pou (111) kòn kat kote, sètadi estrikti "piramid" (jan yo montre nan figi 1).Apre yo fin fòme estrikti a, lè limyè a ensidan nan pant piramid lan nan yon ang sèten, limyè a pral reflete nan pant lan nan yon lòt ang, fòme yon absòpsyon segondè oswa plis, kidonk diminye reflektivite a sou sifas la nan wafer Silisyòm lan. , se sa ki, efè pèlen limyè a (gade Figi 2).Pi bon gwosè a ak inifòmite nan estrikti "piramid la", pi evidan efè pèlen an, ak pi ba sifas emèt wafer Silisyòm lan.
Figi 1: Mikwomorfoloji nan wafer Silisyòm monokristalin apre pwodiksyon alkali
Figi 2: Prensip limyè pèlen estrikti "piramid lan".
Analiz de blanchiman yon sèl kristal
Pa eskanè mikwoskòp elèktron sou wafer Silisyòm blan an, li te jwenn ke mikwostrikti piramid lan nan wafer blan nan zòn nan te fondamantalman pa fòme, ak sifas la te sanble yo gen yon kouch rezidi "sir", pandan y ap estrikti a piramid nan syèd la. nan zòn blan nan menm wafer Silisyòm te fòme pi byen (gade Figi 3).Si gen résidus sou sifas monokristalin Silisyòm wafer, sifas la pral gen rezidyèl zòn "piramid" gwosè estrikti ak jenerasyon inifòmite ak efè nan zòn nòmal la se ensifizan, sa ki lakòz yon sifas rezidyèl velours refleksyon pi wo pase zòn nòmal la, la. zòn ki gen gwo refleksyon konpare ak zòn nan nòmal nan vizyèl la reflete kòm blan.Kòm yo ka wè nan fòm distribisyon an nan zòn blan an, li pa fòm regilye oswa regilye nan gwo zòn, men sèlman nan zòn lokal yo.Li ta dwe ke polyan lokal yo sou sifas wafer Silisyòm lan pa te netwaye, oswa sitiyasyon sifas wafer Silisyòm ki te koze pa polisyon segondè.
Figi 3: Konparezon diferans mikwostrikti rejyonal yo nan silisyòm velours blan
Sifas la nan fil dyaman koupe Silisyòm wafer la pi lis ak domaj la pi piti (jan yo montre nan Figi 4).Konpare ak mòtye Silisyòm wafer la, vitès reyaksyon alkali a ak dyaman fil koupe Silisyòm wafer sifas la pi dousman pase sa yo ki nan mòtye koupe monokristalin Silisyòm wafer la, kidonk enfliyans nan résidus sifas sou efè a velours se pi evidan.
Figi 4: (A) mikwograf sifas nan mòtye koupe Silisyòm wafer (B) mikrograf sifas nan fil Diamond koupe Silisyòm wafer
Sous prensipal la rezidyèl nan sifas wafer Silisyòm fil koupe dyaman
(1) awozaj: eleman prensipal yo nan awozaj koupe fil dyaman yo se surfactant, dispersant, difamagent ak dlo ak lòt konpozan.Likid la koupe ak pèfòmans ekselan gen bon sispansyon, dispèsyon ak kapasite netwayaj fasil.Surfactants anjeneral gen pi bon pwopriyete idrofil, ki fasil pou netwaye nan pwosesis netwayaj Silisyòm wafer la.Brase kontinyèl ak sikilasyon aditif sa yo nan dlo a pral pwodwi yon gwo kantite kim, sa ki lakòz diminisyon nan koule awozaj la, ki afekte pèfòmans nan refwadisman, ak kim nan grav ak menm pwoblèm kim debòde, ki pral seryezman afekte itilizasyon an.Se poutèt sa, awozaj la anjeneral itilize ak ajan an defoaming.Yo nan lòd yo asire pèfòmans nan defoaming, silikon tradisyonèl la ak polyether yo anjeneral pòv idrofil.Sòlvan an nan dlo trè fasil pou adsorbe epi rete sou sifas wafer Silisyòm lan nan netwayaj ki vin apre a, sa ki lakòz pwoblèm nan tach blan.Epi li pa byen konpatib ak eleman prensipal yo nan awozaj la, Se poutèt sa, li dwe fèt an de konpozan, Konpozan prensipal yo ak ajan defoaming yo te ajoute nan dlo, Nan pwosesis pou yo itilize, dapre sitiyasyon an kim, Pa kapab pa quantitatively kontwole la itilize ak dòz ajan anti-kim, Ka fasil pèmèt pou yon surdozaj nan ajan anoaming, Ki mennen nan yon ogmantasyon nan rezidi sifas wafer Silisyòm, Li se tou pi konvenyan yo opere, Sepandan, akòz pri a ba nan matyè premyè ak ajan defoaming anvan tout koreksyon. materyèl, Se poutèt sa, pi fò nan awozaj domestik la tout sèvi ak sistèm fòmil sa a;Yon lòt likid refwadisman sèvi ak yon nouvo ajan defoaming, Ka byen konpatib ak eleman prensipal yo, Pa gen adisyon, Ka efektivman ak quantitatively kontwole kantite li yo, Ka efektivman anpeche twòp itilizasyon, Egzèsis yo tou trè pratik fè, Avèk pwosesis netwayaj apwopriye li yo. résidus yo ka kontwole nan nivo ki ba anpil, Nan Japon ak kèk manifaktirè domestik adopte sistèm fòmil sa a, Sepandan, akòz gwo pri materyèl bwit li yo, Avantaj pri li yo pa evidan.
(2) Lakòl ak résine vèsyon: nan etap nan pita nan pwosesis la koupe fil dyaman, Wafer nan Silisyòm tou pre fen a fèk ap rantre yo te koupe nan davans, Wafer nan Silisyòm nan fen priz la poko koupe nan, Diamond la byen bonè koupe. fil la te kòmanse koupe nan kouch kawotchou a ak plak résine, Depi lakòl la baton Silisyòm ak tablo a résine yo tou de pwodwi résine epoksidik, pwen ralantisman li yo se fondamantalman ant 55 ak 95 ℃, Si pwen an ralantisman nan kouch kawotchou a oswa résine a. plak la ba, li ka fasilman chofe pandan pwosesis koupe a ak lakòz li vin mou ak fonn, Tache ak fil asye a ak sifas la wafer Silisyòm, Kòz kapasite nan koupe nan liy lan dyaman diminye, Oswa silisyòm yo resevwa ak tache ak résine, Yon fwa tache, li trè difisil pou lave koupe, Kontaminasyon sa yo sitou fèt tou pre kwen an nan wafer Silisyòm lan.
(3) Silisyòm poud: nan pwosesis la nan koupe fil dyaman pral pwodwi yon anpil nan poud Silisyòm, ak koupe a, mòtye kontni an poud refwadisman yo pral pi plis ak plis wo, lè poud lan se gwo ase, yo pral konfòme yo ak sifas la Silisyòm, ak koupe fil dyaman nan gwosè Silisyòm poud ak gwosè mennen nan pi fasil li yo adsorption sou sifas la Silisyòm, fè li difisil pou netwaye.Se poutèt sa, asire aktyalizasyon a ak bon jan kalite nan awozaj la epi redwi kontni an poud nan awozaj la.
(4) ajan netwayaj: itilizasyon aktyèl la nan manifaktirè koupe fil dyaman sitou lè l sèvi avèk koupe mòtye an menm tan an, sitou itilize prelavaj koupe mòtye, pwosesis netwayaj ak ajan netwayaj, elatriye, sèl teknoloji dyaman koupe fil soti nan mekanis nan koupe, fòme yon konplè seri liy, awozaj ak koupe mòtye gen gwo diferans, kidonk pwosesis netwayaj ki koresponn lan, ajan netwayaj dòz, fòmil, elatriye ta dwe pou koupe fil dyaman fè ajisteman ki koresponn lan.Netwayaj ajan se yon aspè enpòtan, ajan netwayaj orijinal fòmil surfactant, alkalinite se pa apwopriye pou netwaye dyaman fil koupe Silisyòm wafer, yo ta dwe pou sifas la nan dyaman fil Silisyòm wafer, konpozisyon an ak résidus sifas nan ajan netwayaj vize, epi pran ak pwosesis netwayaj la.Kòm mansyone pi wo a, konpozisyon an nan ajan defoaming pa nesesè nan koupe mòtye.
(5) Dlo: koupe fil dyaman, pre-lave ak netwaye dlo debòde gen enpurte, li ka adsorbe sou sifas wafer Silisyòm lan.
Diminye pwoblèm nan fè cheve velours blan parèt sijesyon
(1) Pou itilize awozaj la ak bon dispèsyon, epi awozaj la oblije sèvi ak ajan defoaming ki ba-rezid pou diminye rezidi konpozan awozaj yo sou sifas wafer Silisyòm lan;
(2) Sèvi ak lakòl apwopriye ak plak résine pou diminye polisyon nan wafer Silisyòm;
(3) Refwadisman an dilye ak dlo pi pou asire ke pa gen okenn enpurte rezidyèl fasil nan dlo itilize a;
(4) Pou sifas la nan fil Diamond koupe Silisyòm wafer, sèvi ak aktivite ak netwayaj efè pi apwopriye ajan netwayaj;
(5) Sèvi ak dyaman liy refwadisman sistèm rekiperasyon sou entènèt la pou diminye kontni an nan poud Silisyòm nan pwosesis la koupe, konsa tankou efektivman kontwole rezidi nan poud Silisyòm sou sifas la wafer Silisyòm nan wafer la.An menm tan an, li ka ogmante tou amelyorasyon nan tanperati dlo, koule ak tan nan pre-lave a, asire ke poud Silisyòm lan lave nan tan.
(6) Yon fwa yo mete wafer Silisyòm lan sou tab netwayaj la, li dwe trete imedyatman, epi kenbe wafer Silisyòm lan mouye pandan tout pwosesis netwayaj la.
(7) Silisyòm wafer la kenbe sifas la mouye nan pwosesis degumming, epi li pa ka sèk natirèlman.(8) Nan pwosesis netwayaj wafer Silisyòm lan, tan an ekspoze nan lè a ka redwi osi lwen ke posib pou anpeche pwodiksyon flè sou sifas wafer Silisyòm lan.
(9) Anplwaye netwayaj pa dwe kontakte dirèkteman sifas wafer Silisyòm lan pandan tout pwosesis netwayaj la, epi yo dwe mete gan kawotchou, pou yo pa pwodwi enprime anprent.
(10) Nan referans [2], fen batri a sèvi ak oksijene idwojèn H2O2 + pwosesis netwayaj alkali NaOH dapre rapò volim nan 1:26 (solisyon 3% NaOH), ki ka efektivman diminye ensidan an nan pwoblèm nan.Prensip li sanble ak solisyon netwayaj SC1 (ki souvan rele likid 1) nan yon wafer Silisyòm semi-conducteurs.Mekanis prensipal li yo: se fim nan oksidasyon sou sifas wafer Silisyòm ki fòme pa oksidasyon H2O2, ki se korode pa NaOH, ak oksidasyon an ak korozyon rive repete.Se poutèt sa, patikil yo tache ak poud Silisyòm, résine, metal, elatriye) tou tonbe nan likid netwayaj la ak kouch korozyon an;akòz oksidasyon H2O2, matyè òganik sou sifas wafer la dekonpoze an CO2, H2O epi retire li.Pwosesis sa a nan netwaye te Silisyòm wafer manifaktirè yo itilize pwosesis sa a nan pwosesis netwayaj la nan dyaman fil koupe monokristalin Silisyòm wafer, Silisyòm wafer nan domestik la ak Taiwan ak lòt batri manifaktirè pakèt itilizasyon plent velours pwoblèm blan.Genyen tou manifaktirè batri yo te itilize menm jan an velours pre-netwayaj pwosesis, tou efektivman kontwole aparans nan velours blan.Li ka wè ke pwosesis netwayaj sa a te ajoute nan pwosesis netwayaj Silisyòm wafer pou retire rezidi Silisyòm wafer konsa pou rezoud efektivman pwoblèm cheve blan nan fen batri a.
konklizyon
Koulye a, koupe fil dyaman te vin teknoloji pwosesis prensipal la nan jaden an nan koupe kristal sèl, men nan pwosesis pou fè pwomosyon pwoblèm nan fè velours blan te boulvèse Silisyòm wafer ak manifaktirè batri, ki mennen ale nan manifaktirè batri nan dyaman fil koupe Silisyòm. wafer gen kèk rezistans.Atravè analiz la konparezon nan zòn nan blan, li se sitou ki te koze pa rezidi a sou sifas la nan wafer nan Silisyòm.Yo nan lòd yo pi byen anpeche pwoblèm nan nan wafer Silisyòm nan selil la, papye sa a analize sous yo posib nan polisyon sifas nan wafer Silisyòm, osi byen ke sijesyon yo amelyorasyon ak mezi nan pwodiksyon an.Dapre kantite, rejyon ak fòm tach blan, kòz yo ka analize ak amelyore.Li espesyalman rekòmande yo sèvi ak oksijene idwojèn + pwosesis netwayaj alkali.Eksperyans nan siksè te pwouve ke li ka efektivman anpeche pwoblèm nan nan dyaman fil koupe Silisyòm wafer fè velours blanchi, pou referans a nan endistri jeneral inisye yo ak manifaktirè yo.
Tan poste: Me-30-2024